將泵從系統(tǒng)上拆下，用干凈的方盤接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。斷續(xù)啟動電機4～6，使各真空小室內(nèi)的油全部排出。然后從各抽氣管加入干凈的真空泵油200～300CC。斷續(xù)啟動電動機，再次清洗各真空室。這樣經(jīng)2～3次重復(fù)清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。

換油最好在油溫升高后進行。對泵嚴禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平時也要注意保護進氣口，檢查濾網(wǎng)，防止灰塵、雜質(zhì)進入泵內(nèi)，弄污泵油，損壞真空室。

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